多晶硅太阳能电池制造工艺中PSG(去磷硅玻璃工艺)与激光刻蚀的区别是什么?请尽量有详细资料。谢谢!

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  补充下,因为我在一家公司里面做,知道硅片如果有经过去PSG的,后面就不需要再通过激光测试这一道工序了,但我不是很了解他们具体的异同点。所以想求各位帮我解决。...

  补充下,因为我在一家公司里面做,知道硅片如果有经过去PSG的,后面就不需要再通过激光测试这一道工序了,但我不是很了解他们具体的异同点。所以想求各位帮我解决。

  展开全部去PSG一般有干法和湿法刻蚀两种,湿法用HF,干法采用等离子刻蚀。激光刻蚀与以上两种原理完全不同,扩散后边缘隔离很少会采用激光刻蚀(当然也有),激光多用于高效电池中的刻槽,重掺等

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